采用多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，溫度1100℃、1500℃、1700℃可選擇，MFC多路氣體可選，真空度測(cè)量范圍可選，壓強(qiáng)調(diào)節(jié)可選。
景恒科技推出箱式氣相沉積系統(tǒng)、箱式CVD系統(tǒng)，國(guó)內(nèi)多所一流高校研究所使用。