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超真空除氣系統

2023-05-23 22:30 已有人瀏覽

分類真空除氣

產品超真空除氣系統

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高真空除氣系統能在幾小時內完成器件的脫氣，部分器件性能指標提高約50%以上，該設備可按需對接上下游工藝設備。...

詳情介紹

半導體器件的內表面吸附的水汽等大分子氣體會對器件本身壽命和性能有很大的影響，我公司推出的高真空除氣系統能在很大程度上去除半導體器件內表和淺表吸附氣體，提高半導體器件的性能和壽命。相對傳統的烘烤和置換能節省大量的人力物力。有數據表明，傳統的烘箱烘烤加氮氣置換耗時約5-7天，我公司生產的高真空除氣系統能在幾小時內完成器件的脫氣，部分器件性能指標提高約50%以上。該設備可按需對接上下游工藝設備。

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